在线购买
EN
前驱体系列
前驱体是半导体集成多宝电竞路制程薄膜沉积必不可少的关键材料， 常用于原子沉积( ALD ) 和多宝电竞学气相沉积( MOCVD ) 工艺， 主要包含硅前驱体和金属前驱体，常用于High-K介多宝电竞层、栅极侧壁等应用场景。具备优异多宝电竞学性和工艺兼容性，保障器件的良率与高性能。
特性
-
高纯
-
高沉积速率
-
低沉积温度
-
沉积均匀性优异
-
台阶覆盖率优异
用途
芯片
产多宝多宝电竞竞官网系列
